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一样平常工艺气体都是贮保存钢瓶中，钢瓶作为气源相对利便使用。已往无论是在半导体生产车间，抑或是科研单位的实验室，钢瓶总是泛起在需要的地方，而没有一个统一的妄想安排。随着半导体行业的蓬勃生长，对其配套项目也提出了更高要求。好比在集中供气系统中一样平常要有专用装置贮存钢瓶，在已往十多年中，盖斯帕克没有发明集中供气之前，特种气体供应没有形成有用的系统，钢瓶缭乱，管理杂乱，不相容气体混放等问题较量严重，极大的影响到用气清静。彼时，随着半导体、微电子行业的生长壮大，特气系统的工艺要求也越来越规范，本文从宏观方面探讨整个系统设计初期需要注重的问题。

特种气体工艺系统的硬件需求：

贮存、供气的气瓶柜、气瓶架、集装格。

气体分派用阀门箱、阀门盘。

辅助氮气吹扫系统。

尾气处置惩罚装置。

工艺气体的贮存方法较量多样，有槽车、鱼雷管拖挂车、集装格、杜瓦罐、

种种储罐等。实验室、科研单位、一样平常半导体生产厂用的特气多用钢瓶存储。特种气体工艺系统的设计应知足电子产品生产工艺对特气工艺的参数、污染控制、使用清静的要求。不相容的特种气体的排气管道不应该接入统一排气系统。不相容的特种气体的排风管道不应接入统一排风系统。

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